7月30日，據《科創板日報》訊，台積電海外營運資深副總經理暨副共同營運長張曉強表示，仍在評估High-NA EUV應用於未來制程節點的成本效益與可擴展性，目前採用時間未定。A16制程將於2026年下半年量產，可能不會採用high-NA EUV設備。
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