南大光電：公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝驗證

3月21日，南大光電(300346.SZ)在互動平台表示，公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗證，產品質檢主要依靠公司購置的光刻機及其他輔助檢測設備。